CVD和ALD前驱体 - 化学和生化试剂

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仲丁醇铝

规格或纯度 :

≥95%

CAS号: 2269-22-9 EC号: 218-871-2 Compound CID : 61289

分子式: C₁₂H₂₇AlO₃ 分子量: 246.32

IUPAC Name: aluminum;butan-2-olate

SMILES: CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].[Al+3]

InChIKey: WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/3C4H9O.Al/c3*1-3-4(2)5;/h3*4H,3H2,1-2H3;/q3*-1;+3

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异丙醇铝

规格或纯度 :

≥98%

CAS号: 555-31-7 EC号: 209-090-8

分子式: C₉H₂₁AlO₃ 分子量: 204.24

IUPAC Name: aluminum;propan-2-olate

SMILES: CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-].[Al+3]

InChIKey: SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/3C3H7O.Al/c3*1-3(2)4;/h3*3H,1-2H3;/q3*-1;+3

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五氯化铌

规格或纯度 :

≥99.9% metals basis

CAS号: 10026-12-7 EC号: 233-059-8

分子式: NbCl₅ 分子量: 270.17

IUPAC Name: pentachloroniobium

SMILES: Cl[Nb](Cl)(Cl)(Cl)Cl

InChIKey: YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I

InChI: 1S/5ClH.Nb/h5*1H;/q;;;;;+5/p-5

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乙酰丙酮铂(II)

规格或纯度 :

PrimorTrace™

≥99.99% metals basis

CAS号: 15170-57-7 EC号: 239-223-5 Compound CID : 10960186

分子式: C₁₀H₁₄O₄Pt 分子量: 393.29

IUPAC Name: (Z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;platinum

SMILES: CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Pt]

InChIKey: VEJOYRPGKZZTJW-FDGPNNRMSA-N

InChI: 1S/2C5H8O2.Pt/c2*1-4(6)3-5(2)7;/h2*3,6H,1-2H3;/b2*4-3-;

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三乙酰丙酮铑(III)

规格或纯度 :

≥97%

CAS号: 14284-92-5 EC号: 238-192-5 Compound CID : 71306774

分子式: [CH₃COCH=C(O-)CH₃]₃Rh 分子量: 400.23

IUPAC Name: (E)-4-hydroxypent-3-en-2-one;rhodium

SMILES: CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Rh]

InChIKey: MBVAQOHBPXKYMF-MUCWUPSWSA-N

InChI: 1S/3C5H8O2.Rh/c3*1-4(6)3-5(2)7;/h3*3,6H,1-2H3;/b3*4-3+;

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三乙酰丙酮铑(III)

规格或纯度 :

PrimorTrace™

≥99.99% metals basis

CAS号: 14284-92-5 EC号: 238-192-5 Compound CID : 71306774

分子式: [CH₃COCH=C(O-)CH₃]₃Rh 分子量: 400.23

IUPAC Name: (E)-4-hydroxypent-3-en-2-one;rhodium

SMILES: CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.CC(=CC(=O)C)O.[Rh]

InChIKey: MBVAQOHBPXKYMF-MUCWUPSWSA-N

InChI: 1S/3C5H8O2.Rh/c3*1-4(6)3-5(2)7;/h3*3,6H,1-2H3;/b3*4-3+;

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磷酸三乙酯(TEP)

规格或纯度 :

Standard for GC

≥99.7%(GC)

CAS号: 78-40-0 EC号: 201-114-5

分子式: C₆H₁₅O₄P 分子量: 182.15

IUPAC Name: triethyl phosphate

SMILES: CCOP(=O)(OCC)OCC

InChIKey: DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/C6H15O4P/c1-4-8-11(7,9-5-2)10-6-3/h4-6H2,1-3H3

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磷酸三乙酯(TEP)

规格或纯度 :

≥99.5%

CAS号: 78-40-0 EC号: 201-114-5

分子式: C₆H₁₅O₄P 分子量: 182.15

IUPAC Name: triethyl phosphate

SMILES: CCOP(=O)(OCC)OCC

InChIKey: DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/C6H15O4P/c1-4-8-11(7,9-5-2)10-6-3/h4-6H2,1-3H3

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三甲基铝

规格或纯度 :

2.0 M in n-hexane

CAS号: 75-24-1 EC号: 200-853-0 Compound CID : 16682925

分子式: C₃H₉Al 分子量: 72.09

IUPAC Name: trimethylalumane

SMILES: C[Al](C)C

InChIKey: JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/3CH3.Al/h3*1H3;

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三乙基铝

规格或纯度 :

1.0 M in n-hexane

CAS号: 97-93-8 EC号: 202-619-3 Compound CID : 16682930

分子式: C₆H₁₅Al 分子量: 114.16

IUPAC Name: triethylalumane

SMILES: CC[Al](CC)CC

InChIKey: VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/3C2H5.Al/c3*1-2;/h3*1H2,2H3;

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三甲基铝（TMA）

规格或纯度 :

2.0 M in toluene

CAS号: 75-24-1 EC号: 200-853-0 Compound CID : 16682925

分子式: C₃H₉Al 分子量: 72.09

IUPAC Name: trimethylalumane

SMILES: C[Al](C)C

InChIKey: JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/3CH3.Al/h3*1H3;

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硅酸四乙酯（TEOS）

规格或纯度 :

PrimorTrace™

≥99.99% metals basis

CAS号: 78-10-4 EC号: 201-083-8 Compound CID : 6517

分子式: C₈H₂₀O₄Si 分子量: 208.33

IUPAC Name: tetraethyl silicate

SMILES: CCO[Si](OCC)(OCC)OCC

InChIKey: BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N

InChI: 1S/C8H20O4Si/c1-5-9-13(10-6-2,11-7-3)12-8-4/h5-8H2,1-4H3

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